特种气体系统工程技术标准 GB50646-2020
3.1.5 特种气体间的设计应符合下列规定：
1 特种气体间应设置排风系统，并应按负压设计；
2 特种气体间应采用防火隔墙相互隔离；
3.1.6 当生产厂房内的自燃性特种气体的储存量超过57m³时，应设置独立的特种气体站。
3.2.5 大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，不得布置在地下室。开敞式建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面，且墙体与墙体之间、墙体与屋顶结构之间应设置自然通风的空间。硅烷容器与四周障碍物的最小距离小于障碍物高度的2倍时，大宗硅烷系统应设置机械通风。
3.2.6 硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置 2h以上的防火隔断。
3.2.7 硅烷气瓶柜内的硅烷钢瓶应固定在钢架上，两个钢瓶之间应采用钢板隔离，钢板厚度应大于或等于6mm。
3.3.7 剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。
3.3.8 剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员入侵的技术防范设施。
4.2.1 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定：
2 不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中；
5 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h；
6 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器；
4.3.1 特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连；
2 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源；
3 吹扫气体管线应设置止回阀。
4.4.4 硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫。
4.4.7 硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。
5.2.1 储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置：
1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；
2 生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处；
3 生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处；
4 惰性气体间可能产生窒息的区域；
5 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间；
5.2.3 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置报警设定值应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性气体的一级报警设定值不应大于25%易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50%易燃性气体爆炸浓度下限值；
2 剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于 50%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)，二级报警设定值不应大于100%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)；
3 设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值不应小于18%氧气体积浓度(V/V)；
5.2.6 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或等于50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁；硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm，环境气体探测器报警时，硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。
5.4.5 室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必须设置紫外、红外火焰探测器;室内硅烷输送系统应采用火焰探测器或感温探测器。
6.1.3 生产厂 房洁净室内的自燃性、易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并应采用焊接。
6.1.4 特种气体穿过生产区墙壁 与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。易燃性、毒性、腐蚀性特种气体管道的机械连接处，应置于排风罩内。
6.2.6 氧化性气体系统应采用专用禁油阀门、附件和管材，并应进行脱脂处理。
7.2.1 甲类特种气体站与工厂建(构)筑物的防火间距，不得小于表7.2.1的规定。
注：1 防火间距应按相邻建(构)筑物的外墙、凸出部分外缘、气瓶集装格外缘的最近距离计算。
2 甲类特种气体站与甲类仓库之间的防火间距，当第3、4项物品使用储量不大于2t，第1、2、5、6项物品使用储量不大于5t时，不应小于12m。
7.2.9 硅烷站安全出口的设置应符合下列规定：
1 硅烷站的建筑面积大于或等于19m²时，不得少于两个安全出口；建筑面积小于19m²时，不得少于一个安全出口；
2 硅烷站内任何地点到最近安全出口的距离不得大于23m。
9.1.3 毒性、剧毒性、腐蚀性气体的特种气体间应在安全区域设置紧急冲身洗眼器。
9.2.5 特种气体站、特种气体间内存储的特种气体与水可能发生剧烈反应时，该特种气体间不得采用水消防系统。
9.2.6 硅烷站的消防系统应符合下列规定：
1 发生硅烷火灾时，应紧急切断硅烷气源，在未切断气源的情况下，严禁扑灭硅烷火焰；
9.3.2 特种气体气瓶柜、阀门箱应设置机械排风装置。
9.3.15 特种气体设备及站房排风管道及空调风管应采用不燃材料制作，保温应采用不燃或难燃材料，腐蚀性特种气体的排风管道应采用耐腐蚀材料制作。
9.3.17 特种气体站房排风系统不得与火灾报警系统联动控制；火灾发生时，严禁关闭排风系统。
10.6.2 特种气体管道配管应符合下列规定：
7 不锈钢管道密封接头的密封垫片应根据气体的性质采用不锈钢垫片或镍垫片，严禁采用非金属垫片、有划伤的垫片以及将使用过的垫片，在同一密封面应采用一个垫片；
10.7.2 施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。
10.7.2 施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。
1 特种气体间应设置排风系统，并应按负压设计；
2 特种气体间应采用防火隔墙相互隔离；
3.1.6 当生产厂房内的自燃性特种气体的储存量超过57m³时，应设置独立的特种气体站。
3.2.5 大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑，不得布置在地下室。开敞式建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不得大于三面，且墙体与墙体之间、墙体与屋顶结构之间应设置自然通风的空间。硅烷容器与四周障碍物的最小距离小于障碍物高度的2倍时，大宗硅烷系统应设置机械通风。
3.2.6 硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置 2h以上的防火隔断。
3.2.7 硅烷气瓶柜内的硅烷钢瓶应固定在钢架上，两个钢瓶之间应采用钢板隔离，钢板厚度应大于或等于6mm。
3.3.7 剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。
3.3.8 剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员入侵的技术防范设施。
4.2.1 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定：
2 不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中；
5 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h；
6 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器；
4.3.1 特种气体系统吹扫气体的设置应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连；
2 不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源；
3 吹扫气体管线应设置止回阀。
4.4.4 硅烷系统必须采用独立的惰性气源进行吹扫。
4.4.7 硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。
5.2.1 储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种气体探测装置：
1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；
2 生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处；
3 生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处；
4 惰性气体间可能产生窒息的区域；
5 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体设备间；
5.2.3 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置报警设定值应符合下列规定：
1 自燃性、易燃性气体的一级报警设定值不应大于25%易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50%易燃性气体爆炸浓度下限值；
2 剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于 50%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)，二级报警设定值不应大于100%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均容许浓度(TLV-TWA)；
3 设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值不应小于18%氧气体积浓度(V/V)；
5.2.6 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或等于50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁；硅烷站环境气体探测器的报警设定值应小于或等于5ppm，环境气体探测器报警时，硅烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。
5.4.5 室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必须设置紫外、红外火焰探测器;室内硅烷输送系统应采用火焰探测器或感温探测器。
6.1.3 生产厂 房洁净室内的自燃性、易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并应采用焊接。
6.1.4 特种气体穿过生产区墙壁 与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。易燃性、毒性、腐蚀性特种气体管道的机械连接处，应置于排风罩内。
6.2.6 氧化性气体系统应采用专用禁油阀门、附件和管材，并应进行脱脂处理。
7.2.1 甲类特种气体站与工厂建(构)筑物的防火间距，不得小于表7.2.1的规定。
表7.2.1 甲类特种气体站与工厂建(构)筑物的防火间距(m)
2 甲类特种气体站与甲类仓库之间的防火间距，当第3、4项物品使用储量不大于2t，第1、2、5、6项物品使用储量不大于5t时，不应小于12m。
7.2.9 硅烷站安全出口的设置应符合下列规定：
1 硅烷站的建筑面积大于或等于19m²时，不得少于两个安全出口；建筑面积小于19m²时，不得少于一个安全出口；
2 硅烷站内任何地点到最近安全出口的距离不得大于23m。
9.1.3 毒性、剧毒性、腐蚀性气体的特种气体间应在安全区域设置紧急冲身洗眼器。
9.2.5 特种气体站、特种气体间内存储的特种气体与水可能发生剧烈反应时，该特种气体间不得采用水消防系统。
9.2.6 硅烷站的消防系统应符合下列规定：
1 发生硅烷火灾时，应紧急切断硅烷气源，在未切断气源的情况下，严禁扑灭硅烷火焰；
9.3.2 特种气体气瓶柜、阀门箱应设置机械排风装置。
9.3.15 特种气体设备及站房排风管道及空调风管应采用不燃材料制作，保温应采用不燃或难燃材料，腐蚀性特种气体的排风管道应采用耐腐蚀材料制作。
9.3.17 特种气体站房排风系统不得与火灾报警系统联动控制；火灾发生时，严禁关闭排风系统。
10.6.2 特种气体管道配管应符合下列规定：
7 不锈钢管道密封接头的密封垫片应根据气体的性质采用不锈钢垫片或镍垫片，严禁采用非金属垫片、有划伤的垫片以及将使用过的垫片，在同一密封面应采用一个垫片；
10.7.2 施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。
10.7.2 施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。