1 总则
1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理、环境友好。制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计、施工和验收；不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。
1.0.3 特种气体系统的设计和施工及验收除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
1.0.2～1.0.3本规范适用范围是从外购特种气体与其附属设备在工厂内的站房开始到工艺设备的工程设计与施工。不含特种气体的生产系统。特种气体系统是电子类工厂的关键工艺系统，在安全、可靠的前提下，系统的设计必须具有先进性和经济性。
1.0.4鉴于特种气体具有易燃易爆、毒性大、腐蚀性强的特点，结合国家倡导的绿色环保、以人为本理念，特种气体系统的设计和施工应符合国家相关政策要求。与本规范有关的标准、规范主要有：《建筑设计防火规范》、《爆炸与火灾危险环境电力装置设计设计》、《氢气站设计规范》、《工业金属管道设计规范》、《自动喷水灭火系统设计规范》、《工业企业设计卫生标准》等。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计、施工和验收；不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。
1.0.3 特种气体系统的设计和施工及验收除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
条文说明
1.0.1本条是本规范的宗旨，鉴于电子工厂大部分的特种气体具有易燃、易爆、毒性、腐蚀性、氧化性的特点，同时许多特种气体都具有窒息性，密闭性好的电子工厂厂房内窒息性气体对人员的危害性不可忽视，所以，电子工厂中特种气体站房的设计、建造对于确保财产安全、生命安全都十分重要。随着国内电子工厂特别是半导体器件、集成电路、光电器件类电子工厂如：大规模和超大规模集成电路工厂、TFT平板显示器工厂、PDP平板显示器工厂、太阳能电池工厂、电子材料工厂等的日益增多，特种气体系统的应用越来越广，因此特种气体站房的设计与施工必须采取相应的防火、防爆的安全措施，正确贯彻实施国家各种法律法规。
1.0.2～1.0.3本规范适用范围是从外购特种气体与其附属设备在工厂内的站房开始到工艺设备的工程设计与施工。不含特种气体的生产系统。特种气体系统是电子类工厂的关键工艺系统，在安全、可靠的前提下，系统的设计必须具有先进性和经济性。
1.0.4鉴于特种气体具有易燃易爆、毒性大、腐蚀性强的特点，结合国家倡导的绿色环保、以人为本理念，特种气体系统的设计和施工应符合国家相关政策要求。与本规范有关的标准、规范主要有：《建筑设计防火规范》、《爆炸与火灾危险环境电力装置设计设计》、《氢气站设计规范》、《工业金属管道设计规范》、《自动喷水灭火系统设计规范》、《工业企业设计卫生标准》等。