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1 总则
1.0.1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。
1.0.2 本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、施工和验收。
1.0.3 本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收。
1.0.4 特种气体系统工程的设计、施工及验收除应符合本标准的规定外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
条文说明
1.0.1 本条是本标准的宗旨，鉴于电子工厂大部分的特种气体具有自燃、易燃、毒性、腐蚀性、氧化性的特点，同时许多特种气体都具有窒息性，密闭性好的电子工厂厂房内窒息性气体对人员的危害性不可忽视，所以，电子工厂中特种气体站房的设计、建造对于确保财产安全、生命安全都十分重要。随着国内电子工厂特别是半导体器件、集成电路、光电器件类电子工厂，如大规模和超大规模集成电路工厂、薄膜晶体管液晶显示器( TFT-LCD)工厂、太阳能电池工厂、电子材料工厂等建设的日益增多，特种气体系统的应用越来越广，因此，特种气体站房及其系统的设计、施工和验收要采取相应的防火、防毒、防腐蚀和防窒息等安全措施，正确贯彻实施国家有关环境保护、节约能源等各种法律法规，同时，系统的设计要具有先进性和经济性。
1.0.2、1.0.3 本标准适用范围是从外购特种气体与其附属设备在工厂内的站房开始到工艺设备之间的系统工程的设计、施工和验收，不包含特种气体的制取、提纯、罐装系统的设计、施工和验收。本标准主要适应于电子工厂的工程设计、施工和验收，科研院校的实验室、小型车间的特种气体系统可参考执行。
1.0.4 鉴于特种气体具有易燃易爆、毒性大、腐蚀性强的特点，结合国家倡导的绿色环保、以人为本理念，特种气体系统的设计和施工应符合国家相关政策要求。与本标准有关的国家现行标准、规范主要有:《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058、《氢气站设计规范》GB 50177、《工业金属管道设计规范》GB 50316、《自动喷水灭火系.统设计规范》GB 50084、《工业企业设计卫生标准》等。
1.0.2、1.0.3 本标准适用范围是从外购特种气体与其附属设备在工厂内的站房开始到工艺设备之间的系统工程的设计、施工和验收，不包含特种气体的制取、提纯、罐装系统的设计、施工和验收。本标准主要适应于电子工厂的工程设计、施工和验收，科研院校的实验室、小型车间的特种气体系统可参考执行。
1.0.4 鉴于特种气体具有易燃易爆、毒性大、腐蚀性强的特点，结合国家倡导的绿色环保、以人为本理念，特种气体系统的设计和施工应符合国家相关政策要求。与本标准有关的国家现行标准、规范主要有:《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058、《氢气站设计规范》GB 50177、《工业金属管道设计规范》GB 50316、《自动喷水灭火系.统设计规范》GB 50084、《工业企业设计卫生标准》等。