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电子工业洁净厂房设计规范 GB50472-2008
15 微振控制
15.1 一般规定
15.2 容许振动值
15.3 微振动控制设计
上一节：
14.2 噪声控制设计
下一节：
15.1 一般规定
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前言
1 总则
2 术语
3 电子产品生产环境设计要求
3.1 一般规定
3.2 生产环境设计要求
4 总体设计
4.1 位置选择和总平面布置
4.2 洁净室型式
4.3 洁净室布置和综合协调
5 工艺设计
5.1 一般规定
5.2 工艺布局
5.3 人员净化
5.4 物料净化
5.5 设备及工器具
6 洁净建筑设计
6.1 一般规定
6.2 防火和疏散
6.3 室内装修
7 空气净化和空调通风设计
7.1 一般规定
7.2 气流流型和送风量
7.3 净化空调系统
7.4 空气净化设备
7.5 采暖、通风
7.6 排烟
7.7 风管、附件
8 给水排水设计
8.1 一般规定
8.2 给水
8.3 排水
8.4 雨水
8.5 消防给水和灭火设备
9 纯水供应
9.1 一般规定
9.2 纯水系统
9.3 管材、阀门和附件
10 气体供应
10.1 一般规定
10.2 常用气体系统
10.3 干燥压缩空气系统
10.4 特种气体系统
11 化学品供应
11.1 一般规定
11.2 化学品储存、输送
11.3 管材、阀门
12 电气设计
12.1 配电
12.2 照明
12.3 通信与安全保护装置
12.4 自动控制
12.5 接地
13 防静电与接地设计
13.1 一般规定
13.2 防静电措施
13.3 防静电接地
14 噪声控制
14.1 一般规定
14.2 噪声控制设计
15 微振控制
15.1 一般规定
15.2 容许振动值
15.3 微振动控制设计
附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
附录B 电子产品生产间／工序的火灾危险性分类举例
附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例
附录D 洁净室(区)性能测试和认证
D.1 通则
D.2 洁净室(区)性能测试要求
D.3 洁净室测试方法
D.4 认证
D.5 记录
本规范用词说明
